产品描述：通过更换传感器单元可以检测多种气体
可通过PDA读取数据
01.产品特点
· 通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器
· 传感器经过校准和交付，无需现场气体校准。此外，无需工具即可轻松更换传感器
· 小巧·轻便的设计
· 通过LCD显示屏轻松了解气体浓度，报警状态和错误信息
· 采样流量的自动控制功能
· 当插入与设置不同的传感器时，传感器具有防止错误插入的功能
· 通过连接PDA，可以获取存储在检测单元中的数据
· 转换器单元（选件）可用于检测NF3等气体
· 符合CE标准
· 符合SEMI标准
02.连接方式
03.产品参数
| 型号 | PS-7 | |
| 类型 | 标准型 | 附带转换器组件型 |
| 检测原理 | 定电位电解式、热线型半导体式、隔膜伽伐尼电池式 | 热分解+定电位电解式 |
| 检测方式 | 泵吸引式(0.5L/min吸引流量自动控制) | |
| 采样配管※1 | 特氟龙外径6内径4mm，配管距离在20m以内 | |
| 气体浓度显示 | 液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图 | |
| 报警接点 | ||
| ◆气体报警(1段以及2段) | ||
| ·报警 | : 红色液晶指示灯闪烁 | : 液晶画面 |
| 第1段:ALARM1 | ||
| 第2段:ALARM1、ALARM2显示 | ||
| ◆流量降低报警 | ||
| ·堵塞指示显示 | : 流量显示为低速运转 | |
| ·报警 | : 黄色LED指示灯闪烁 | : 液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态 |
| ◆传感器故障报警/传感器误插入报警 | ||
| ·报警 | : 黄色LED指示灯闪烁 | : 液晶画面 SENS.显示 |
| ◆热分解炉断线报警※2 | ||
| ·报警 | : 黄色LED指示灯闪烁 | : 液晶画面CONV.显示 |
| 外部输出 | ·气体浓度模拟输出DC4~20mA(与电源的负极通用) | |
| ·气体报警接点(1段以及2段)1a无电压接点/自动复位 | ||
| ·故障报警接点(开路集电极/自动复位) | ||
| 适用电缆线 | 控制用屏蔽电缆线(Ф8~11mm)x23芯或者4芯 | |
| 使用温度湿度范围 | 0℃~40℃(但是，温度无剧烈变化)，30~85%RH(无结露现象) | |
| 电源 | DC24V±10% | |
| 消耗电力 | 约7W | 约10W |
| 外形尺寸 | W62xH124xD143mm(选购品和突出部分除外) | |
| 重量 | 约1.0kg | |
| 安装方法 | 壁挂式 | |
※1.推荐使用特氟龙。但是如果是吸附性较强的气体时，根据使用情况的不同也将有所差异，因此，请向本公司进行咨询。产品有可能改进而对上述规格进行修改，对此恕不预先通知用户。
※2.仅限于附带转换器的产品
04.对应气体一览表
| 气体种类 | 满量程 | 检测原理 | 组件类型 |
| SiH₄ | 5/25μmol/mol | 定电位电解式 | CDS-7 |
| PH₃ | 1μmol/mol | ||
| B₂H₆ | 500nmol/mol | ||
| AsH₃ | 250nmol/mol | ||
| H₂Se | 250nmol/mol | ||
| Si₂H₆ | 25μmol/mol | ||
| SiH₂Cl₂ | 25μmol/mol | ||
| GeH₄ | 1 μmol/mol | ||
| NH₃ | 100μmol/mol | ||
| HF | 10μmol/mol | ||
| PF₃ | 10μmol/mol | ||
| HCl | 5/25μmol/mol | ||
| HBr | 10μmol/mol | ||
| F₂ | 5μmol/mol | ||
| CI₂ | 5μmol/mol | ||
| CIF₃ | 1μmol/mol | ||
| O₃ | 1μmol/mol | ||
| CO | 250μmol/mol | ||
| H₂S | 50μmol/mol | ||
| NF₃ | 100μmol/mol | 定电位电解式(用于转换器单元) | |
| CCI₄ | 100μmol/mol | ||
| H₂ | 500/1000μmol/mol | 热线型半导体式 | CHS-7 |
| O₂ | 25vol% | 伽伐尼电池式 | COS-7 |
05.产品应用案例
06.可连接报警器
· UV-810（多点检测）
· V3系列（面板嵌入式）
· NV-100M（单点检测）
产品综合样册 
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